非接觸膜厚儀是一種先進(jìn)的測量設(shè)備,利用光學(xué)、磁感應(yīng)或超聲波等非接觸式原理來測量物體表面涂層、鍍層厚度。它特別適用于對敏感或脆弱材料進(jìn)行厚度檢測,不會造成物理損傷,因此在制造業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、航空航天等多個領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
非接觸膜厚儀的測量范圍因具體型號和技術(shù)原理的不同而有所差異,涵蓋了從納米級到毫米級的廣泛區(qū)間。這里簡要概括各類技術(shù)所能達(dá)到的一般測量范圍:
1、光學(xué)干涉法:常用于測量非常薄的透明層,如硅片上的氧化層,測量范圍可以從幾個納米(nm)起,最高可達(dá)幾百微米(μm)。
2、磁感應(yīng)法:適合測量鐵磁性基體上的非磁性涂層,通常范圍在0.1μm至1mm之間。
3、渦電流法:用于非導(dǎo)電層覆于導(dǎo)電基體上的場合,厚度測量范圍大致為0.1μm至10mm。
4、超聲波法:可以測量較厚的材料,包括金屬、塑料等,有效范圍從幾十微米至數(shù)百毫米不等,甚至更厚。
值得注意的是,每種技術(shù)都有其最佳工作范圍和限制條件。例如,超薄涂層可能要求更高的精度,此時光學(xué)干涉法會更加合適;而對于非常厚的涂層,則超聲波法更為理想。使用者在選擇非接觸膜厚儀時,應(yīng)結(jié)合具體的應(yīng)用需求,匹配適宜的測量方案。
此外,隨著科技的進(jìn)步,一些高性能的膜厚儀已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)跨尺度測量,即在同一設(shè)備上涵蓋從納米到毫米的全范圍厚度,擴展了應(yīng)用的可能性。無論是在科學(xué)研究、質(zhì)量控制還是產(chǎn)品開發(fā)階段,這樣的綜合性解決方案都能帶來更大的靈活性和效率。
總之,非接觸膜厚儀的測量范圍廣泛,充分展現(xiàn)了其在現(xiàn)代工業(yè)和科研領(lǐng)域中的重要作用。